儀器有渦流測厚原理和磁性測厚原理之分，磁性法測量厚度受基體金屬性變化的影響(在實際應用中，低碳鋼磁性的變化可認為是輕微的)，為了避免熱處理和冷加工因素的影響，應使用與試件基體金屬具有相同性質的標準片對儀器進行校準;基體金屬的電導率對測量有影響，而基體金屬的電導率與其材料成份及熱處理方法有關。

　　

　　淬火層測厚儀的使用與試件基體金屬具有相同性質的標準片對儀器進行校準，每一種儀器都有一個臨界厚度，大于這個厚度，測量就不受基體金屬厚度的影響；對試件表面形狀的陡變敏感，因此在靠近試件邊緣或內轉角處進行測量是不可靠的;試件的曲率對測量有影響，隨著曲率半徑的減少明顯地增大，因此，在彎曲試件的表面上測量也是不可靠的;探頭會使軟涂層試件變形，因此在這些試件上測不出可靠的數據;基體金屬和涂層的表面粗糙度對測量有影響。

　　

　　高頻交流信號在探頭線圈中產生電磁場，探頭靠近導體時，就在其中形成渦流。探頭離導電基體愈近，則渦流愈大，反射阻抗也愈大。這個反饋作用量表征了探頭與導電基體之間距離的大小，也就是導電基體上非導電涂層厚度的大小。由于這類涂層測厚儀探頭專門測量非鐵磁金屬基體上的涂層厚度，所以通常稱為非磁性探頭。